Патенты с меткой «фосфоросиликатного»

Номер патента: 8991

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Становский Владимир Владимирович, Шкуратов Александр Георгиевич

МПК: C23C 16/40, C23C 16/455, H01L 21/316...

Метки: осаждения, фосфоросиликатного, способ, стекла, пленки

Текст:

...реактор, после осаждения пленки фосфоросиликатного стекла требуемой толщины прекращают подачу в реактор паров фосфоросодержащего соединения,осаждают адгезионный слой двуокиси кремния толщиной 10-25 нм без изменения температуры реактора и давления и прекращают подачу паров тетраэтоксисилана, при этом в качестве фосфоросодержащего соединения используют диметилфосфит, триэтилфосфит,триметилфосфит или триметилфосфат, дополнительно...

Номер патента: 3924

Опубликовано: 30.06.2001

Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Емельянов Виктор Андреевич, Смагин Дмитрий Леонидович, Буслов Игорь Иванович

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, фосфоросиликатного, стекла, пленок, осаждения

Текст:

...концентрации фосфора в пленке, так как соотношение потоков ТЭОС/ДМФ поддерживается более точно. Дополнительным преимуществом является более экономное использование реагентов. При температуре испарителя ТЭОС ниже 50 С из-за относительно низкого давления паров реагентов снижается скорость осаждения, что повышает издержки производства. При температуре испарителя ТЭОС более 70 С из-за относительно высокого давления паров трудно...

Номер патента: 2883

Опубликовано: 30.06.1999

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Сосновский Владимир Арестархович, Макаревич Игорь Иванович

МПК: H01L 21/316

Метки: осаждения, фосфоросиликатного, пленки, стекла, способ

Текст:

...существенно снижается концентрация соединений фосфора на выхлопе реактора, что позволяет использовать скруббер без дожигания. В выбранном диапазоне температуры испарителя давление паров диметилфосфита составляет 1.812 мм рт. ст. При температуре испарителя ниже 20 С усложняется управление процессом по концентрации фосфора и не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления паров ДМФ....

Номер патента: 2531

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Тихонов Владимир Ильич, Турцевич Аркадий Степанович, Красницкий Василий Яковлевич

МПК: H01L 21/316

Метки: пленок, осаждения, фосфоросиликатного, стекла, способ

Текст:

...определяется именно этим соотношением. Поэтому контроль за содержанием фосфора в пленке предельно облегчается. Кроме того, так как не используется фосфин, то и уровень привносимой дефектности снижается и повышается однородность осаждаемых пленок по толщине, а также реализуется процесс осаждения фосфоросиликатного стекла без использования высокотоксичного фосфина. Дополнительным преимуществом является некоторое сокращение площади, занимаемой...

Номер патента: 1612

Опубликовано: 30.03.1997

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Макаревич Игорь Иванович, Сасновский Владимир Арестархович, Наливайко Олег Юрьевич, Кабаков Михаил Михайлович, Буляк Борис Николаевич, Тихонов Владимир Ильич

МПК: H01L 21/316

Метки: получения, способ, фосфоросиликатного, стекла, пленок

Текст:

...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...