Кабаков Михаил Михайлович
Способ получения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1612
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Тихонов Владимир Ильич, Макаревич Игорь Иванович, Турцевич Аркадий Степанович, Кабаков Михаил Михайлович, Буляк Борис Николаевич, Сасновский Владимир Арестархович
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, стекла, получения, пленок, фосфоросиликатного
Текст:
...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...
Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1613
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Кабаков Михаил Михайлович, Корешков Геннадий Анатольевич, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Макаревич Игорь Иванович
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, способ, борофосфоросиликатного, осаждения, пленки
Текст:
...издержки производства. 1613 1 При температуре испарителя с ТЭОС выше 75 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре реактора ниже 650 С снижается скорость осаждения и повышаются издержки производства, а также ухудшается конформность воспроизведения топологического рельефа. При температуре реактора выше 750 С ухудшается управляемость процесса по толщине и концентрациям фосфора и бора. При температуре испарителя с...