Корешков Геннадий Анатольевич
Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1613
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Макаревич Игорь Иванович, Турцевич Аркадий Степанович, Корешков Геннадий Анатольевич, Кабаков Михаил Михайлович, Наливайко Олег Юрьевич
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, пленки, осаждения, борофосфоросиликатного, стекла
Текст:
...издержки производства. 1613 1 При температуре испарителя с ТЭОС выше 75 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре реактора ниже 650 С снижается скорость осаждения и повышаются издержки производства, а также ухудшается конформность воспроизведения топологического рельефа. При температуре реактора выше 750 С ухудшается управляемость процесса по толщине и концентрациям фосфора и бора. При температуре испарителя с...