Аношин Валерий Михайлович
Способ планаризации кремниевых структур
Номер патента: 2923
Опубликовано: 30.09.1999
Авторы: Аношин Валерий Михайлович, Захарик Сергей Владимирович, Красницкий Василий Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, кремниевых, структур, планаризации
Текст:
...в чистом реакторе, а срок службы реактора и оснастки повышается, что снижает издержки производствам и уровень привносимой дефектности. Издержки производства снижаются также и за счет совмещения двух операций в реакционной камере. При оплавлении БФСС при давлении ниже 20 Па увеличивается испарение из приповерхностного слоя стекла, что может способствовать ухудшению текучести стекла при оплавлении контактов (так называемое второе оплавление)....
Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 2502
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Аношин Валерий Михайлович, Турцевич Аркадий Степанович, Красницкий Василий Яковлевич, Наливайко Олег Юрьевич, Захарик Сергей Владимирович
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, борофосфоросиликатного, способ, пленки, осаждения
Текст:
...содержанием фосфора и бора в пленке предельно упрощается. Подача ДМФ и ТСМБ по дополнительной паре инжекторов с газом-носителем - азотом непосредственно в зону реакции позволяет подавить возможные реакции с образованием побочных продуктов, что подтвер 2 2502 1 ждается результатами эксперимента и, следовательно, повысить качество осаждаемых пленок БФСС за счет снижения уровня привносимой дефектности. При подаче ТМФ и ТСМБ по той же паре...