Макаревич Игорь Иванович

Номер патента: 2883

Опубликовано: 30.06.1999

Авторы: Макаревич Игорь Иванович, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Сосновский Владимир Арестархович

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, фосфоросиликатного, осаждения, стекла, пленки

Текст:

...существенно снижается концентрация соединений фосфора на выхлопе реактора, что позволяет использовать скруббер без дожигания. В выбранном диапазоне температуры испарителя давление паров диметилфосфита составляет 1.812 мм рт. ст. При температуре испарителя ниже 20 С усложняется управление процессом по концентрации фосфора и не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления паров ДМФ....

Номер патента: 1612

Опубликовано: 30.03.1997

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Тихонов Владимир Ильич, Буляк Борис Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Кабаков Михаил Михайлович, Макаревич Игорь Иванович, Сасновский Владимир Арестархович

МПК: H01L 21/316

Метки: получения, пленок, фосфоросиликатного, способ, стекла

Текст:

...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...

Номер патента: 1613

Опубликовано: 30.03.1997

Авторы: Макаревич Игорь Иванович, Корешков Геннадий Анатольевич, Турцевич Аркадий Степанович, Кабаков Михаил Михайлович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/316

Метки: борофосфоросиликатного, осаждения, пленки, способ, стекла

Текст:

...издержки производства. 1613 1 При температуре испарителя с ТЭОС выше 75 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре реактора ниже 650 С снижается скорость осаждения и повышаются издержки производства, а также ухудшается конформность воспроизведения топологического рельефа. При температуре реактора выше 750 С ухудшается управляемость процесса по толщине и концентрациям фосфора и бора. При температуре испарителя с...