Тихонов Владимир Ильич

Номер патента: 2531

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Тихонов Владимир Ильич, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Красницкий Василий Яковлевич

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, стекла, фосфоросиликатного, пленок, осаждения

Текст:

...определяется именно этим соотношением. Поэтому контроль за содержанием фосфора в пленке предельно облегчается. Кроме того, так как не используется фосфин, то и уровень привносимой дефектности снижается и повышается однородность осаждаемых пленок по толщине, а также реализуется процесс осаждения фосфоросиликатного стекла без использования высокотоксичного фосфина. Дополнительным преимуществом является некоторое сокращение площади, занимаемой...

Номер патента: 1612

Опубликовано: 30.03.1997

Авторы: Кабаков Михаил Михайлович, Турцевич Аркадий Степанович, Тихонов Владимир Ильич, Сасновский Владимир Арестархович, Наливайко Олег Юрьевич, Макаревич Игорь Иванович, Буляк Борис Николаевич

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, стекла, получения, пленок, фосфоросиликатного

Текст:

...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...