Буляк Борис Николаевич
Способ получения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1612
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Сасновский Владимир Арестархович, Турцевич Аркадий Степанович, Кабаков Михаил Михайлович, Макаревич Игорь Иванович, Тихонов Владимир Ильич, Наливайко Олег Юрьевич, Буляк Борис Николаевич
МПК: H01L 21/316
Метки: пленок, стекла, фосфоросиликатного, получения, способ
Текст:
...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...