Сосновский Владимир Арестархович

Номер патента: 2883

Опубликовано: 30.06.1999

Авторы: Сосновский Владимир Арестархович, Турцевич Аркадий Степанович, Макаревич Игорь Иванович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/316

Метки: пленки, фосфоросиликатного, стекла, осаждения, способ

Текст:

...существенно снижается концентрация соединений фосфора на выхлопе реактора, что позволяет использовать скруббер без дожигания. В выбранном диапазоне температуры испарителя давление паров диметилфосфита составляет 1.812 мм рт. ст. При температуре испарителя ниже 20 С усложняется управление процессом по концентрации фосфора и не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления паров ДМФ....