C23C 16/40 — оксиды
Способ получения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 8992
Опубликовано: 28.02.2007
Авторы: Шкуратов Александр Георгиевич, Ануфриев Леонид Петрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: C23C 16/40, C23C 16/455, H01L 21/316...
Метки: пленки, получения, способ, борофосфоросиликатного, стекла
Текст:
...откачке.Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено.Решение поставленной задачи объясняется следующим образом. Подача в реактор паров ТЭОС, ФСС и БСС после стабилизации их потоков продувкой паров, минуя реактор(сначала по сбросовь 1 м магистралям пары реагентов подаются на скруббер, производится стабилизация их потоков, а затем переключением соответствующих клапанов производится...
Способ осаждения пленки фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 8991
Опубликовано: 28.02.2007
Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Ануфриев Леонид Петрович, Шкуратов Александр Георгиевич, Становский Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: C23C 16/40, H01L 21/316, C23C 16/455...
Метки: стекла, фосфоросиликатного, способ, пленки, осаждения
Текст:
...реактор, после осаждения пленки фосфоросиликатного стекла требуемой толщины прекращают подачу в реактор паров фосфоросодержащего соединения,осаждают адгезионный слой двуокиси кремния толщиной 10-25 нм без изменения температуры реактора и давления и прекращают подачу паров тетраэтоксисилана, при этом в качестве фосфоросодержащего соединения используют диметилфосфит, триэтилфосфит,триметилфосфит или триметилфосфат, дополнительно...