Буслов Игорь Иванович
Способ осаждения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 3924
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Буслов Игорь Иванович, Смагин Дмитрий Леонидович, Емельянов Виктор Андреевич, Наливайко Олег Юрьевич
МПК: H01L 21/316
Метки: пленок, фосфоросиликатного, осаждения, способ, стекла
Текст:
...концентрации фосфора в пленке, так как соотношение потоков ТЭОС/ДМФ поддерживается более точно. Дополнительным преимуществом является более экономное использование реагентов. При температуре испарителя ТЭОС ниже 50 С из-за относительно низкого давления паров реагентов снижается скорость осаждения, что повышает издержки производства. При температуре испарителя ТЭОС более 70 С из-за относительно высокого давления паров трудно...