C23C 16/455 — характеризуемые способом, используемым для введения газов в реакционную камеру или для модифицирования газовых потоков в реакционной камере

Номер патента: 12058

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Емельянов Виктор Андреевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: C23C 16/455, B05D 5/12, H01L 21/02...

Метки: поликристаллического, полуизолирующего, способ, осаждения, пленки, кремния

Текст:

...Данные загрязнения формируются при межоперационном хранении кремниевых пластин с кристаллами ИСМЭ (от очистки поверхности кремния до начала осаждения пленки ППК) и обусловливают катастрофическое увеличение поверхностной проводимости кремния. Причиной их возникновения является наличие оборванных связей атомов кремния на поверхности, что усиливает адсорбцию поверхностных загрязнений. Формирование относительно тонкого слоя химического оксида...

Номер патента: 8992

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Шкуратов Александр Георгиевич, Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: C23C 16/455, H01L 21/316, C23C 16/40...

Метки: способ, борофосфоросиликатного, стекла, получения, пленки

Текст:

...откачке.Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено.Решение поставленной задачи объясняется следующим образом. Подача в реактор паров ТЭОС, ФСС и БСС после стабилизации их потоков продувкой паров, минуя реактор(сначала по сбросовь 1 м магистралям пары реагентов подаются на скруббер, производится стабилизация их потоков, а затем переключением соответствующих клапанов производится...

Номер патента: 8991

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Шкуратов Александр Георгиевич, Ануфриев Леонид Петрович, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Становский Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/316, C23C 16/455, C23C 16/40...

Метки: способ, осаждения, пленки, фосфоросиликатного, стекла

Текст:

...реактор, после осаждения пленки фосфоросиликатного стекла требуемой толщины прекращают подачу в реактор паров фосфоросодержащего соединения,осаждают адгезионный слой двуокиси кремния толщиной 10-25 нм без изменения температуры реактора и давления и прекращают подачу паров тетраэтоксисилана, при этом в качестве фосфоросодержащего соединения используют диметилфосфит, триэтилфосфит,триметилфосфит или триметилфосфат, дополнительно...