Смагин Дмитрий Леонидович
Способ получения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 4154
Опубликовано: 30.12.2001
Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Наливайко Олег Юрьевич, Смагин Дмитрий Леонидович, Сидерко Александр Александрович, Пшеничный Евгений Николаевич
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, способ, пленки, борофосфоросиликатного, получения
Текст:
...При температуре испарителя с ТЭОС выше 70 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре испарителя с ДМФ ниже 20 С не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления ДМФ. При температуре испарителя с ДМФ выше 35 С в реактор подается избыточное количество паров ДМФ и суммарная концентрация бора и фосфора превышает 10 вес. , кроме того, повышается...
Способ осаждения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 3924
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Смагин Дмитрий Леонидович, Буслов Игорь Иванович, Емельянов Виктор Андреевич, Наливайко Олег Юрьевич
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, осаждения, способ, фосфоросиликатного, пленок
Текст:
...концентрации фосфора в пленке, так как соотношение потоков ТЭОС/ДМФ поддерживается более точно. Дополнительным преимуществом является более экономное использование реагентов. При температуре испарителя ТЭОС ниже 50 С из-за относительно низкого давления паров реагентов снижается скорость осаждения, что повышает издержки производства. При температуре испарителя ТЭОС более 70 С из-за относительно высокого давления паров трудно...