Стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния

(51) МПК (2006) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ СТАБИЛИЗИРУЮЩАЯ ДОБАВКА ДЛЯ АБРАЗИВНЫХ СУСПЕНЗИЙ НА ОСНОВЕ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ ДЛЯ ШЛИФОВКИ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ(71) Заявитель Учреждение образования Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины(72) Авторы Гайшун Владимир Евгеньевич Тюленкова Ольга Ивановна Мельниченко Игорь Михайлович Косенок Янина Александровна(73) Патентообладатель Учреждение образования Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины(57) Стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния, включающая глицерин, пирогенный диоксид кремния, натриевую соль карбоксиметилцеллюлозы и дистиллированную воду при следующем соотношении компонентов, мольная часть глицерин 0,085-0,100 пирогенный диоксид кремния 0,003-0,008 натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы 0,000001-0,000010 вода 1. Изобретение относится к получению состава модифицирующей добавки, используемой для улучшения технологических характеристик шлифовальной суспензии на основе порошков окиси алюминия, преимущественно для шлифовки пластин монокристаллического кремния. В настоящее время используются различные добавки к абразивным суспензиям, которые препятствуют агрегации порошка и способствуют созданию устойчивых коллоидных систем, улучшают смачиваемость частиц порошка, увеличивают производительность обработки материала. Известно использование в качестве добавки к водным абразивным суспензиям этиленгликоля или глицерина, которые выполняют функции повышения вязкости суспензии и предотвращения испарения жидкой фазы 1. Однако стабилизирующее действие такой добавки невелико. Известно использование в качестве стабилизирующей добавки, предотвращающей оседание абразива в водных суспензиях, тонкодисперсного оксида кремния, который добавляют в количестве 5-10 мас.2. 10513 1 2008.04.30 Однако такая добавка не решает задачи комплексного улучшения технологических и эксплутационных характеристик абразивной суспензии. Известен также состав, включающий в себя глицерин, дистиллированную воду, карбоксиполиметилен и триэтаноламин 3. Однако данный состав не обеспечивает необходимое качество шлифования пластин монокристаллического кремния, поскольку содержит до 25 глицерина. Заявляемое изобретение решает задачу получения высокоэффективной стабилизирующей добавки для абразивной суспензии на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния. Технический результат изобретения заключается в увеличении выхода годных пластин при шлифовке, а также в экологичности полученного продукта. Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния включает глицерин, пирогенный диоксид кремния, натриевую соль карбоксиметилцеллюлозы и дистиллированную воду при следующем соотношении компонентов, мольная часть глицерин 0,085-0,100 пирогенный диоксид кремния 0,003-0,008 натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы 0,000001-0,000010 вода 1. Полученный продукт представляет собой вязкую жидкость серого цвета, не содержащую посторонних механических включений, видимых невооруженным глазом, и имеет следующие характеристики удельная плотность добавки не менее 1,30 г/см 3,динамическая вязкость добавки не менее 1,25 Пас,рН добавки при 20 С 9,0-9,5. Примеры составов стабилизирующей добавки. Для приготовления стабилизирующей добавки использовались следующие вещества натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы (КМЦ) (марки Т-20, ТУ-6-15-1288-92) дистиллированный глицерин (марки Ч, ГОСТ 6824-96) диоксид кремния марки А-175 и дистиллированная вода. Содержание компонентов, мольп/п 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 Выход годных пластин на операции шлифовки в 93 93 92,5 93 92 93 93 93 93 93 93 93 93 92 93 92,5 Продолжение таблицы Выход годных пластин на операции шлифовки в 91 93 92 93 85 88 81,5 72 57 58 Источники информации 1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств Справочник. - М. Радио и связь, 1991. - 528 с. 2. Рапота А.А. Усовершенствование качества поверхности и процесса доводки сферических поверхностей изделий из технической керамики Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. - Донецк, 2002. - 35 с. 3.4242842, 1981. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3