Тюленкова Ольга Ивановна
Стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния
Номер патента: 10513
Опубликовано: 30.04.2008
Авторы: Тюленкова Ольга Ивановна, Гайшун Владимир Евгеньевич, Косенок Янина Александровна, Мельниченко Игорь Михайлович
МПК: C09G 1/00
Метки: оксида, шлифовки, суспензий, абразивных, алюминия, пластин, монокристаллического, кремния, основе, стабилизирующая, добавка
Текст:
...и эксплутационных характеристик абразивной суспензии. Известен также состав, включающий в себя глицерин, дистиллированную воду, карбоксиполиметилен и триэтаноламин 3. Однако данный состав не обеспечивает необходимое качество шлифования пластин монокристаллического кремния, поскольку содержит до 25 глицерина. Заявляемое изобретение решает задачу получения высокоэффективной стабилизирующей добавки для абразивной суспензии на...
Способ получения полирующей суспензии
Номер патента: 8586
Опубликовано: 30.10.2006
Авторы: Мельниченко Игорь Михайлович, Гайшун Владимир Евгеньевич, Тюленкова Ольга Ивановна
МПК: C09G 1/04, C01B 33/143
Метки: полирующей, способ, получения, суспензии
Текст:
...к получению более крупных частиц и уменьшению выхода продукта. Отклонение от заявляемых оптимальных соотношений в гидролизуемой смеси тетраэтилортосиликата, воды, азотной кислоты и аммония уменьшает выход конечного продукта с размерами частиц 0,01-0,06 мкм за счет образования частиц других размеров или приводит к формированию кремневого геля. Полученный продукт представляет собой суспензию белого цвета и имеет следующие характеристики...
Способ получения сферических микрочастиц кремнезема
Номер патента: 7542
Опубликовано: 30.12.2005
Авторы: Гайшун Владимир Евгеньевич, Тюленкова Ольга Ивановна, Мельниченко Игорь Михайлович
МПК: C01B 33/18
Метки: кремнезема, получения, сферических, микрочастиц, способ
Текст:
...выхода продукта с размерами частиц 50-100 мкм за счет образования частиц иных размеров, или твердого монолитного геля или полупрозрачной смеси, непригодной для формирования микросферических частиц. Полученный после отделения от жидкой фазы и последующей промывки в дистиллированной воде продукт имеет следующие характеристики средний размер частиц 50-100 мкм при выходе фракции до 70 , размер пор 100-500 А удельная поверхность 300-350 м 2/г...