ОЦУКА, Хироаки
Прессованная мишень из спеченных оксидов для распыления и способ ее получения
Номер патента: 16272
Опубликовано: 30.08.2012
Авторы: ОЦУКА, Хироаки, ОСАДА, Кодзо
МПК: C04B 35/01, C23C 14/08, C04B 35/453...
Метки: получения, распыления, оксидов, мишень, способ, прессованная, спеченных
Текст:
...и гибкой полимерной пленки, возникает проблема, заключающаяся в том, что диапазон вариантов материала для подложки является ограниченным. Кроме того, имеются недостатки с точки зрения производительности, поскольку процесс изготовления устройств при высоких температурах требует больших затрат на энергию и много времени на процесс нагревания.В свете вышесказанного, в последнее время производится разработка тонкопленочного транзистора с...