C04B 35/491 — на основе цирконатов и титанатов свинца
Способ получения мишени цирконата-титаната свинца
Номер патента: 17308
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич, Завадский Сергей Михайлович, Каланда Николай Александрович
МПК: C04B 35/491, H01L 41/24, C23C 14/08...
Метки: мишени, цирконата-титаната, способ, получения, свинца
Текст:
...условиях контроля над содержанием свинца и кислорода в структуре 0,540,463, в воспроизводимости физико-химических свойств мишени, в использовании мелкодисперсных прекурсоров для избежания кинетических трудностей при фазообразовании, увеличения плотности и равномерного распределения пористости по объему мишени и управления, а также в упрощении технологического оборудования и уменьшения экономических затрат. Пример выполнения способа получения...