Патенты с меткой «индия»
Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия из оксида индия
Номер патента: 960
Опубликовано: 15.12.1995
Авторы: Танасейчук Алексей Станиславович, Шершнев Евгений Борисович, Федосенко Николай Николаевич
МПК: C23C 14/28, C23C 14/08
Метки: индия, прозрачного, покрытия, электропроводящего, получения, способ, оксида
Текст:
...и значительно снижают величину удельного сопротивления.При оптимальных технологических режимах напыления величина светопропускания превышает 93.Ионизация кислорода и азота необходима при осуществлении предлагаемого способа. Она позволяет использовать привзаимодействии атомарный кислород и азот, что химически более оправдано, чем использование молекулярных компонентов газовой смеси. Плазма разряда эффективно стимулирует...