B81C 1/00 — Изготовление или обработка устройств или систем, выполненных внутри общей подложки или на ней
Устройство для контроля толщины наносимого вакуумного покрытия
Номер патента: U 8619
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич
Метки: контроля, покрытия, устройство, толщины, вакуумного, наносимого
Текст:
...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...