Пилько Владимир Владимирович

Номер патента: U 8619

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пилько Владимир Владимирович

МПК: G01B 7/06, B81C 1/00

Метки: покрытия, вакуумного, устройство, наносимого, контроля, толщины

Текст:

...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...

Номер патента: U 7034

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пилько Владимир Владимирович, Малышев Виктор Степанович

МПК: B32B 37/10

Метки: сжатия, устройство, пластин

Текст:

...пластин,отличающихся от идеальной плоскости на величину, равную пределу упругой деформации материала пластины, возрастает площадь соприкосновения соединяемых поверхностей, исключается наличие в зазоре между пластинами замкнутых прослоек газов и жидкостей. Сущность полезной модели поясняется чертежом. Устройство включает рабочую камеру 1 с размещенным в ней подогреваемым столом 2, герметичную крышку 3 с упругой термостойкой...

Номер патента: U 5197

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Мильчанин Олег Владимирович, Пилько Владимир Владимирович

МПК: B32B 37/00

Метки: устройство, соединения, пластин

Текст:

...и шлюза включает жидкость, а давление в рабочей камере равно атмосферному. Технический результат достигается за счет того, что жидкость служит сорбирующим пыль веществом в рабочей камере и шлюзе. Одновременно жидкость служит защитой от проникновения пыли через шлюз в камеру и смывает с поверхности пластин пылевидные и иные загрязнения. Наличие в рабочей камере атмосферного давления приводит к отсутствию перепада давлений между внутренним...