Уткина Елена Апполинарьевна

Номер патента: 7431

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Воробьева Алла Ильинична, Уткина Елена Апполинарьевна

МПК: H01L 21/28, H01L 29/80

Метки: трехэлектродный, элемент, изготовления, активный, способ

Текст:

...управляющей сетки и матрицы изолирующего материала. Фиг. 11 показывает схему переноса электронов в отдельном канале (а) и диаграмму отбора электронов в канале по импульсу (б) при различных управляющих напряжениях на сетке. На чертежах приняты следующие обозначения 1 - подложка 2 - слой истока- 1-й уровень 3 - слой Та 4 - матрица пористого анодного оксида алюминия 23 5 - слой 25 6 - квазипроводящие каналы со множеством столбиков (25 или 25) 7 -...

Номер патента: 6613

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Уткина Елена Апполинарьевна, Воробьева Алла Ильинична, Сокол Виталий Александрович

МПК: H01L 49/02

Метки: изготовления, тонкопленочной, способ, резистивно-коммутационной, микросхемы, интегральной

Текст:

...в слое. Затем формируют дорожки межсоединений последующих уровней металлизации повторением операций осаждения пленки А, маскирования и анодного оксидирования. Это дает возможность получения резисторов с широким диапазоном номиналов от(1050)Ом до 100 Мом и ТКС (10-4104). Так как тонкопленочные резисторы изготавливаются на планарной поверхности подложки, они имеют высокую точность номиналов из-за значительного упрощения технологического...