H01L 21/64 — изготовление или обработка приборов на твердом теле, иных чем полупроводниковые, или их частей, не предназначенные только для данного типа приборов, предусмотренных в группах
Способ изготовления многоуровневой системы микроэлектронных межсоединений на основе алюминия и его анодных оксидов
Номер патента: 17099
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Шиманович Дмитрий Леонидович, Сокол Виталий Александрович, Ярошевич Ирина Викторовна, Сякерский Валентин Степанович
МПК: H01L 21/84, H01L 21/64, H01L 49/02...
Метки: изготовления, микроэлектронных, анодных, оксидов, межсоединений, многоуровневой, системы, основе, алюминия, способ
Текст:
...второго уровня фиг. 11 - тонкий адгезионный слой пористого оксида 23 на открытых участках алюминия второго уровня фиг. 12 - четвертая фоторезистивная маска по рисунку контактных площадок, сформированная поверх адгезионного пористого оксида 23 на фиг. 11 сквозная межэлементная изоляция второго уровня из пористого оксида алюминия 23 3 17099 1 2013.04.30 фиг. 13 - ионное травление поверхности образца до удаления ранее дополнительно...