Пинаева Маргарита Михайловна
Способ формирования диэлектрических пленок
Номер патента: 6426
Опубликовано: 30.09.2004
Авторы: Пинаева Маргарита Михайловна, Сокол Виталий Александрович
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, пленок, диэлектрических, формирования
Текст:
...или соли РЗМ и кислота (органическая или неорганическая), при взаимодействии которых образуется комплексонат РЗМ, диссоциирующий в растворе с образованием комплексного аниона, содержащего РЗМ. В зависимости от анодируемого материала и требований, предъявляемых к АОП, связанных с областью их применения, электролит содержит различные РЗМ при различных концентрациях, азотосодержащее соединение основного характера, выбранное из ряда аммиак,ГМТА,...