Бересневич Людмила Брониславовна
Пленкообразующая композиция для диффузии алюминия в кремний
Номер патента: 12893
Опубликовано: 28.02.2010
Авторы: Бересневич Людмила Брониславовна, Турцевич Аркадий Степанович, Мойсейчук Сергей Владимирович, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Солодуха Виталий Александрович
МПК: H01L 21/02
Метки: диффузии, композиция, алюминия, кремний, пленкообразующая
Текст:
...позволяет снизить количество неконтролируемых примесей и улучшить 2 12893 1 2010.02.28 качество легированных стекол для диффузии алюминия. При содержании ТЭОС менее 15,0 мас.в осажденных пленках содержится недостаточно нитрата алюминия для обеспечения требуемого содержания диффузанта, и глубина диффузии уменьшается. При содержании ТЭОС более 17,0 мас.образуется студенистая масса, которая непригодна для нанесения пленок диффузанта...
Композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем
Номер патента: 11789
Опубликовано: 30.04.2009
Авторы: Мойсейчук Константин Леонидович, Бересневич Людмила Брониславовна, Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Кузик Сергей Владимирович
МПК: H01L 21/02
Метки: полупроводниковых, бора, схем, твердых, изготовлении, интегральных, получения, композиция, приборов, источников
Текст:
...мас.затрудняется процесс создания ТИБ и снижается их качество. Аэросил, представляющий собой мелкодисперсную (размер частиц 5-20 нм) двуокись кремния, служит загустителем, что способствует поддержанию во взвешенном состоянии частиц оксида бора при смешивании компонентов диффузанта и нанесении их на поверхность кремниевой подложки для создания твердого источника бора. При содержании аэросила менее 2,5 мас.затрудняется процесс нанесения пасты...
Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов
Номер патента: 9140
Опубликовано: 30.04.2007
Авторы: Шильцев Владимир Викторович, Ануфриев Леонид Петрович, Мойсейчук Константин Леонидович, Бересневич Людмила Брониславовна, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/225
Метки: получения, твердых, полупроводниковых, приборов, композиция, изготовлении, пленкообразующая, источников, бора
Текст:
...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...