Мойсейчук Сергей Владимирович
Пленкообразующая композиция для диффузии алюминия в кремний
Номер патента: 12893
Опубликовано: 28.02.2010
Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Мойсейчук Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Солодуха Виталий Александрович, Бересневич Людмила Брониславовна
МПК: H01L 21/02
Метки: кремний, пленкообразующая, диффузии, алюминия, композиция
Текст:
...позволяет снизить количество неконтролируемых примесей и улучшить 2 12893 1 2010.02.28 качество легированных стекол для диффузии алюминия. При содержании ТЭОС менее 15,0 мас.в осажденных пленках содержится недостаточно нитрата алюминия для обеспечения требуемого содержания диффузанта, и глубина диффузии уменьшается. При содержании ТЭОС более 17,0 мас.образуется студенистая масса, которая непригодна для нанесения пленок диффузанта...