H01L 21/225 — диффузия из твердой фазы в твердую фазу или обратно, например легирование оксидного слоя

Номер патента: 9140

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Мойсейчук Константин Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович, Бересневич Людмила Брониславовна, Шильцев Владимир Викторович, Ануфриев Леонид Петрович

МПК: H01L 21/225

Метки: твердых, источников, бора, изготовлении, композиция, получения, пленкообразующая, полупроводниковых, приборов

Текст:

...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...