Мойсейчук Константин Леонидович
Композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем
Номер патента: 11789
Опубликовано: 30.04.2009
Авторы: Мойсейчук Константин Леонидович, Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Бересневич Людмила Брониславовна, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Глухманчук Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/02
Метки: схем, интегральных, бора, получения, источников, полупроводниковых, композиция, приборов, твердых, изготовлении
Текст:
...мас.затрудняется процесс создания ТИБ и снижается их качество. Аэросил, представляющий собой мелкодисперсную (размер частиц 5-20 нм) двуокись кремния, служит загустителем, что способствует поддержанию во взвешенном состоянии частиц оксида бора при смешивании компонентов диффузанта и нанесении их на поверхность кремниевой подложки для создания твердого источника бора. При содержании аэросила менее 2,5 мас.затрудняется процесс нанесения пасты...
Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов
Номер патента: 9140
Опубликовано: 30.04.2007
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Шильцев Владимир Викторович, Мойсейчук Константин Леонидович, Бересневич Людмила Брониславовна
МПК: H01L 21/225
Метки: бора, приборов, полупроводниковых, твердых, получения, источников, пленкообразующая, композиция, изготовлении
Текст:
...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...