Патенты с меткой «пленкообразующая»
Пленкообразующая композиция для диффузии алюминия в кремний
Номер патента: 12893
Опубликовано: 28.02.2010
Авторы: Бересневич Людмила Брониславовна, Глухманчук Владимир Владимирович, Мойсейчук Сергей Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/02
Метки: кремний, диффузии, алюминия, композиция, пленкообразующая
Текст:
...позволяет снизить количество неконтролируемых примесей и улучшить 2 12893 1 2010.02.28 качество легированных стекол для диффузии алюминия. При содержании ТЭОС менее 15,0 мас.в осажденных пленках содержится недостаточно нитрата алюминия для обеспечения требуемого содержания диффузанта, и глубина диффузии уменьшается. При содержании ТЭОС более 17,0 мас.образуется студенистая масса, которая непригодна для нанесения пленок диффузанта...
Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов
Номер патента: 9140
Опубликовано: 30.04.2007
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Мойсейчук Константин Леонидович, Шильцев Владимир Викторович, Бересневич Людмила Брониславовна, Ануфриев Леонид Петрович
МПК: H01L 21/225
Метки: получения, композиция, источников, изготовлении, полупроводниковых, приборов, пленкообразующая, твердых, бора
Текст:
...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...