Матюшков Владимир Егорович

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович, Моррисон Лянг

МПК: G03B 27/52, G02B 15/00

Метки: способ, экспонирования, пластин, покадрового

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G02B 27/18, G03B 27/42, G03B 27/34...

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Гуревич Элла Семеновна, Есьман Василий Михайлович, Мощеников Владимир Юрьевич, Агейченко Александр Степанович

МПК: G01B 9/02, G03F 7/20

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Номер патента: 8442

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Трапашко Георгий Алексеевич, Точицкий Яков Иванович

МПК: H01L 21/027

Метки: способ, двухстороннего, совмещения, экспонирования

Текст:

...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Цуран Владимир Ильич, Матюшков Владимир Егорович, Тихончук Георгий Иванович, Гуревич Элла Семеновна, Богуш Александр Львович

МПК: G02B 27/18, G02B 17/00, G03F 7/20...

Метки: проекционная, система, увеличением, экспонирования

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Номер патента: 5616

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Колесников Вячеслав Михайлович, Матюшков Владимир Егорович, Стецик Виктор Михайлович, Чухлиб Владимир Иванович, Самохвалов Валерий Константинович

МПК: G01B 11/24, G01B 11/30

Метки: интерференционного, геометрических, параметров, полупроводниковых, устройство, контроля, пластин

Текст:

...- упрощение конструкции устройства Суть изобретения поясняется чертежом, где изображена оптическая схема предложенного устройства. Устройство содержит инжекционный полупроводниковый лазер 1 с широкой диаграммой направленности излучения, подключенный к источнику тока накачки 2, четвертьволновую пластину 3, первый объектив 4 для освещения в параллельном ходе лучей контролируемого объекта 11, расположенного перпендикулярно оптической оси...

Номер патента: 4983

Опубликовано: 30.03.2003

Авторы: Райхман Яков Аронович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/20

Метки: экспонирующая, широкопольная, система

Текст:

...между точками рабочего поля шаблонов, располагаемых вдоль какой- либо координатной оси, на величину двойного размера максимального поля изображения по соответствующей координатной оси. Ось поворотной каретки координатного стола пластины смещена к одному из углов каретки линейных перемещений. Шаблоны, каждый или группами, размещены на поворотной каретке координатного стола шаблонов с разной взаимоперпендикулярной или одинаковой...

Номер патента: 4415

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Райхман Яков Аронович, Макаревич Юрий Евгеньевич

МПК: G03F 7/20

Метки: система, монтажная, экспонирующая

Текст:

...с ними, по меньшей мере, в трех точках каждое. Датчики для автоматической фокусировки выполнены в виде датчиков расстояния. Суть изобретения поясняется чертежом, где на фигуре изображен общий вид монтажной экспонирующей системы. Монтажная экспонирующая система содержит основание, выполненное в виде рамы 1 и опорных столбиков 2, корпус в виде балки 3 предпочтительно из твердокаменных пород, связанный посредством демпферных элементов 4 с...

Номер патента: U 80

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Самарин Игорь Альбертович, Стельмах Вячеслав Фомич, Адашкевич Сергей Владимирович, Матюшков Владимир Егорович, Дрозд Александр Сергеевич, Шпилевский Эдуард Михайлович, Войтик Кирилл Владимирович

МПК: B01J 19/00

Метки: фуллеренов, устройство, получения

Текст:

...С 60) и сопутствующие процессу синтеза неупорядоченные ультрадисперсные частицы сажи. Межэлектродный зазор, необходимый для протекания синтеза, непрерывно поддерживается на заданном уровне за счт встречного передвижения электродов с помощью блоков перемещения электродов 9 и 10 и блока управления 13. Предлагаемое устройство, существенно отличающееся от известных наличием дополнительных элементов и связей, может работать в новых эффективных...

Номер патента: 2658

Опубликовано: 30.03.1999

Авторы: Свидельский Арнольд Петрович, Гуревич Элла Семеновна, Стригельский Виктор Владимирович, Райхман Яков Аронович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/30

Метки: экспонирования, широкоформатная, система

Текст:

...Предложенное техническое решение позволяет получить плоскопараллельные дисплеи больших размеров, повысить их качество, снизить эксплуатационную стоимость и повысить производительность системы. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 изображена общая схема системы экспонирования на фиг. 2 схематически изображен координатный стол шаблонов (вид сверху) на фиг 3 показана структура шаблона на фиг. 4 изображена схема датчика...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Стригельский Виктор Владимирович, Мельник Сергей Петрович, Зайцев Валентин Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович, Мелешко Алексей Вячеславович, Сосно Игорь Павлович, Забродский Геннадий Анатольевич, Райхман Яков Аронович

МПК: G03F 7/20

Метки: широкоформатного, устройство, экспонирования

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...