G03B 27/42 — для автоматического последовательного копирования одного и того же оригинала

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Крот Вадим Валентинович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Корнелюк Александр Иванович, Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович, Орлова Татьяна Львовна

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: экспонирующая, система, проекционная

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Трубчик Иван Трофимович, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...

Номер патента: U 6302

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Стасевич Михаил Николаевич, Есьман Василий Михайлович, Окорок Анатолий Григорьевич

МПК: G03B 27/42, G02B 7/28

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...когерентным излучением приводит к интерференции пучков в пленках технологических слоев,2 63022010.06.30 снижению их мощности, искажению формы и, как следствие, к погрешности отсчета фокусировки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния топологии и технологических слоев на погрешность отсчета плоскости фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что...

Номер патента: U 6048

Опубликовано: 28.02.2010

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...изображения устройством экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический датчик фокусировки, устройство управления...

Номер патента: U 4940

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Курахтина Оксана Викторовна, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Агейченко Александр Степанович, Тихончук Георгий Иванович

МПК: G03B 27/42, G03B 27/34, G02B 27/18...

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...