Чухлиб Владимир Иванович

Номер патента: U 3298

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Самохвалов Валерий Константинович, Чухлиб Владимир Иванович, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G01B 11/06

Метки: измерения, устройство, пластин, толщины, бесконтактного

Текст:

...и повышение точности измерений толщины при наличии шероховатых поверхностей измеряемых пластин.Поставленная задача достигается тем, что устройство для бесконтактного измерения толщины пластин выполнено в виде двух идентичных детектирующих головок, подключенных к электронному блоку и расположенных по обе стороны измеряемой пластины,закрепленной в держателе, каждая из которых содержит первый объектив, оптически связанный системой зеркал с...

Номер патента: 5616

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Колесников Вячеслав Михайлович, Самохвалов Валерий Константинович, Стецик Виктор Михайлович, Чухлиб Владимир Иванович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G01B 11/24, G01B 11/30

Метки: полупроводниковых, пластин, параметров, контроля, интерференционного, геометрических, устройство

Текст:

...- упрощение конструкции устройства Суть изобретения поясняется чертежом, где изображена оптическая схема предложенного устройства. Устройство содержит инжекционный полупроводниковый лазер 1 с широкой диаграммой направленности излучения, подключенный к источнику тока накачки 2, четвертьволновую пластину 3, первый объектив 4 для освещения в параллельном ходе лучей контролируемого объекта 11, расположенного перпендикулярно оптической оси...