Патенты с меткой «экспонирования»

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Зуев Владимир Павлович

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: слоев, толстых, экспонирования, устройство, фоторезистов

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Моррисон Лянг, Матюшков Владимир Егорович, Чарлз Као

МПК: G03B 27/52, G02B 15/00

Метки: экспонирования, способ, покадрового, пластин

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....

Номер патента: 8442

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Точицкий Яков Иванович, Матюшков Владимир Егорович, Трапашко Георгий Алексеевич

МПК: H01L 21/027

Метки: способ, экспонирования, двухстороннего, совмещения

Текст:

...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...

Номер патента: U 3001

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Елисов Владимир Олегович, Ткаченко Вадим Викторович, Липень Виталий Юльянович, Романьков Виктор Григорьевич, Ероховец Валерий Константинович, Качан Сергей Артемович

МПК: G11B 7/00, G03B 27/00

Метки: экспонирования, устройство, светодиодах

Текст:

...вход 7 прием, первую 8 и вторую 9 параллельные светодиодные линейки, оптически связанные через объектив 10 с фотоносителем 11 и выполненные интегральным способом на единой полупроводниковой подложке с квадратной апертурой каждого светодиода и таким же расстоянием между светодиодами, второй 12 регистр хранения, первую 131 13 и вторую 141 14 группы регистров хранения, первую 151 15 и вторую 161 16 группы регистров задержки,...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Богуш Александр Львович, Матюшков Владимир Егорович, Цуран Владимир Ильич, Тихончук Георгий Иванович

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18, G02B 17/00...

Метки: система, увеличением, экспонирования, проекционная

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Номер патента: 2658

Опубликовано: 30.03.1999

Авторы: Свидельский Арнольд Петрович, Гуревич Элла Семеновна, Райхман Яков Аронович, Стригельский Виктор Владимирович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/30

Метки: система, экспонирования, широкоформатная

Текст:

...Предложенное техническое решение позволяет получить плоскопараллельные дисплеи больших размеров, повысить их качество, снизить эксплуатационную стоимость и повысить производительность системы. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 изображена общая схема системы экспонирования на фиг. 2 схематически изображен координатный стол шаблонов (вид сверху) на фиг 3 показана структура шаблона на фиг. 4 изображена схема датчика...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Стригельский Виктор Владимирович, Зайцев Валентин Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Мельник Сергей Петрович, Матюшков Владимир Егорович, Мелешко Алексей Вячеславович, Сосно Игорь Павлович, Забродский Геннадий Анатольевич, Райхман Яков Аронович

МПК: G03F 7/20

Метки: широкоформатного, устройство, экспонирования

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...