Трапашко Георгий Алексеевич
Фотоэлектрический преобразователь круговых перемещений
Номер патента: U 4468
Опубликовано: 30.06.2008
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Басалаев Сергей Петрович, Аваков Сергей Мирзоевич, Трапашко Георгий Алексеевич, Симонов Александр Тихонович
МПК: G01D 5/26
Метки: преобразователь, перемещений, круговых, фотоэлектрический
Текст:
...зеркал за участком М 2 лимба падает плюсовой порядок от плюсового порядка Р - поляризации и минусовой порядок от минусового порядка- поляризации. На другое зеркало падает минусовой порядок от плюсового порядка Р - поляризации и плюсовой порядок от минусового порядка- поляризации. Рабочими являются два пучка - плюсовой от плюсового порядка Р - поляризации и минусовой от минусового порядка-поляризации. Два других являются нерабочими и не должны...
Способ двухстороннего совмещения и экспонирования
Номер патента: 8442
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Точицкий Яков Иванович, Матюшков Владимир Егорович, Трапашко Георгий Алексеевич
МПК: H01L 21/027
Метки: совмещения, способ, экспонирования, двухстороннего
Текст:
...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...