Патенты с меткой «покадрового»

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Моррисон Лянг, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/52, G02B 15/00

Метки: покадрового, способ, экспонирования, пластин

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....