Патенты с меткой «широкопольная»

Номер патента: 4983

Опубликовано: 30.03.2003

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Райхман Яков Аронович

МПК: G03F 7/20

Метки: система, широкопольная, экспонирующая

Текст:

...между точками рабочего поля шаблонов, располагаемых вдоль какой- либо координатной оси, на величину двойного размера максимального поля изображения по соответствующей координатной оси. Ось поворотной каретки координатного стола пластины смещена к одному из углов каретки линейных перемещений. Шаблоны, каждый или группами, размещены на поворотной каретке координатного стола шаблонов с разной взаимоперпендикулярной или одинаковой...