Патенты с меткой «интерференционного»

Устройство интерференционного контроля геометрических параметров полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 5616

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Самохвалов Валерий Константинович, Чухлиб Владимир Иванович, Колесников Вячеслав Михайлович, Стецик Виктор Михайлович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G01B 11/30, G01B 11/24

Метки: контроля, параметров, пластин, геометрических, полупроводниковых, устройство, интерференционного

Текст:

...- упрощение конструкции устройства Суть изобретения поясняется чертежом, где изображена оптическая схема предложенного устройства. Устройство содержит инжекционный полупроводниковый лазер 1 с широкой диаграммой направленности излучения, подключенный к источнику тока накачки 2, четвертьволновую пластину 3, первый объектив 4 для освещения в параллельном ходе лучей контролируемого объекта 11, расположенного перпендикулярно оптической оси...