Патенты с меткой «фосфором»

Номер патента: 18138

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич, Солодуха Виталий Александрович, Трусов Виктор Леонидович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205, C23C 16/56...

Метки: способ, кремния, фосфором, осаждения, легированных, пленок

Текст:

...сопротивления. И, наконец, формирование аморфного подслоя кремния способствует снижению общей шероховатости осаждаемой пленки. При температуре осаждения ниже 540 С существенно снижается скорость осаждения,что снижает производительность процесса. При температуре выше 560 С осаждается аморфно-кристаллический подслой кремния, что приводит к повышению шероховатости поверхности осажденных пленок, а также к сегрегации фосфора на границах...