C23C 16/56 — последующая обработка
Способ осаждения легированных фосфором пленок кремния
Номер патента: 18138
Опубликовано: 30.04.2014
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Трусов Виктор Леонидович, Солодуха Виталий Александрович
МПК: C23C 16/30, C23C 16/56, H01L 21/205...
Метки: пленок, способ, легированных, фосфором, кремния, осаждения
Текст:
...сопротивления. И, наконец, формирование аморфного подслоя кремния способствует снижению общей шероховатости осаждаемой пленки. При температуре осаждения ниже 540 С существенно снижается скорость осаждения,что снижает производительность процесса. При температуре выше 560 С осаждается аморфно-кристаллический подслой кремния, что приводит к повышению шероховатости поверхности осажденных пленок, а также к сегрегации фосфора на границах...