Корпусной алмазосодержащий диск для разделения полупроводниковых пластин

(51)01 21/02 НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ КОРПУСНОЙ АЛМАЗОСОДЕРЖАЩИЙ ДИСК ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН(71) Заявители Учреждение Белорусского государственного университета Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Научно-производственное республиканское унитарное предприятие КБТЭМ-ОМО(72) Авторы Васильев Валерий Лукич Гайдук Илья Леонидович Ковальчук Геннадий Филиппович Цыбульская Людмила Сергеевна Гаевская Татьяна Васильевна(73) Патентообладатели Учреждение Белорусского государственного университета Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Научно-производственное республиканское унитарное предприятие КБТЭМСО(57) Корпусной алмазосодержащий диск для разделения полупроводниковых пластин, состоящий из алюминиевого корпуса и алмазосодержащего режущего лезвия, отличающийся тем, что алюминиевый корпус имеет треугольную форму у основания лезвия.(56) 1. Патент РБ на изобретение 12211. Алмазосодержащее корпусное устройство для резки полупроводниковых пластин. 2009.08.30. 6787 8 2011.02.28 Полезная модель относится к специальному режущему инструменту и может быть использована для качественного и высокопроизводительного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Известен алмазосодержащий режущий диск, содержащий алюминиевый корпус 1 и тонкое лезвие 2 из композиционного электрохимически осажденного алмазосодержащего покрытия на основе никеля и его сплавов (никель-кобальт, никель-железо) 1. Он является наиболее близким прототипом. Этот корпусной диск имеет в сечении прямоугольную или трапецеидальную форму корпуса у основания лезвия (фиг. 1). Недостатком такой конструкции режущего диска является то, что в процессе разделения полупроводниковой пластины по ее периферийной части накапливаются осколки малого размера, которые под воздействием сил резания повреждают планарную сторону кристаллов, что приводит к уменьшению выхода годных, к снижению стойкости алмазного режущего диска, вплоть до поломки лезвия. Задачей, на решение которой направлена данная полезная модель, является повышение стойкости алмазного режущего диска при одновременном повышении выхода годных кристаллов при разделении полупроводниковой пластины. Поставленная задача достигается тем, что в корпусном алмазосодержащем диске для разделения полупроводниковых пластин, состоящем из алюминиевого корпуса и алмазосодержащего режущего лезвия, алюминиевый корпус имеет треугольную форму у основания лезвия. Заявленная полезная модель поясняется чертежом (фиг. 2). Алмазосодержащий диск для разделения полупроводниковых пластин состоит из алюминиевого корпуса 1 и алмазосодержащего лезвия 2, причем алюминиевый корпус имеет треугольную форму у основания лезвия. При такой конструкции образующиеся в процессе резки мелкие осколки выбрасываются из зоны резания. Это приводит к повышению стойкости инструмента, уменьшению вероятности поломки режущего лезвия, а также к повышению выхода годных кристаллов при разделении полупроводниковой пластины. Изготовленное алмазосодержащее устройство для резки полупроводниковых пластин из кремния и материалов группы 35 эксплуатировалось на установке ЭМ-225 при скорости вращения 30000 об/мин, глубине резки полупроводниковых пластин 450 мкм, скорости рабочей подачи 3050 мм/с. Полученные результаты показали, что предлагаемая конструкция полезной модели корпусного режущего диска позволяет при тех же режимах разделения полупроводниковых пластин увеличить стойкость инструмента на 3040 и повысить выход годных кристаллов на 25 . Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 2