Патенты с меткой «алмазосодержащее»
Алмазосодержащее корпусное устройство для резки полупроводниковых пластин
Номер патента: 12211
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Цыбульская Людмила Сергеевна, Гаевская Татьяна Васильевна, Гайдук Илья Леонидович, Васильев Валерий Лукич, Ковальчук Геннадий Филиппович, Антипов Михаил Николаевич
МПК: B28D 5/00, H01L 21/02
Метки: пластин, корпусное, устройство, резки, полупроводниковых, алмазосодержащее
Текст:
...С и катодной плотности тока 2,0-3,0 А/дм 2 (фигура). Изготовление алмазосодержащего устройства для резки полупроводниковых пластин из кремния и материалов группы А 3 В 5 по данному изобретению включает следующие операции изготовление корпуса из сплава алюминия Д 16 электрохимическое осаждение тонкого слоя меди для обеспечения хорошего качества сцепления последующих нанесенных алмазосодержащих слоев электрохимическое осаждение внешнего...