Алексеев Павел Владимирович
Установка для очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин
Номер патента: U 6452
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Губич Леонид Иосифович, Алексеев Павел Владимирович
МПК: B08B 3/00
Метки: полупроводниковых, пластин, установка, очистки, изделий, преимущественно, поверхности
Текст:
...планшайба для размещения очищаемой пластины установлена с возможностью вращения в горизонтальной плоскости на валу электродвигателя сопло подачи жидкости и/или газа установлено с возможностью углового перемещения относительно поверхности очищаемой пластины, снабжено нагревательным элементом. На фигуре представлен вид сбоку установки для очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, в разрезе. Установка для очистки...