Белолипецкий Сергей Александрович

Установка разделения пластин

Загрузка...

Номер патента: U 3736

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Нейман Александр Федорович, Ковальчук Геннадий Филиппович, Бондарчук Виталий Сидорович, Школык Святослав Борисович, Белолипецкий Сергей Александрович

МПК: B28D 1/00, H01L 21/00

Метки: разделения, установка, пластин

Текст:

...4, а каретка координаты 4 установлена на основании 1 в аэростатических подшипниках. Такая конструкция позволяет обеспечить совмещение движения планшайбы 2 по координатамив одной плоскости, а также дает возможность закрепления корпуса электрошпинделя 5 таким образом, чтобы исключить консольность и максимально снизить вибрацию. В верхней части установки расположены устройства, обеспечивающие выполнение технологической операции резки и...