Губич Леонид Иосифович
Установка для магнитно-абразивной обработки поверхностей деталей
Номер патента: U 9958
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Хомич Николай Степанович, Пасевич Петр Иванович, Луговик Алексей Юрьевич, Губич Леонид Иосифович, Корогода Олег Петрович, Хамутовский Александр Николаевич
МПК: B24B 31/00
Метки: магнитно-абразивной, установка, деталей, обработки, поверхностей
Текст:
...закрепления индуктора (вид спереди) на фиг. 6 - привод вращения индуктора, выполненный с возможностью двухопорного закрепления индуктора на фиг. 7 - установка с приводом вращения индуктора, выполненного с возможностью двухопорного закрепления индуктора на фиг. 8 - механизм перемещения с приводом вращения индуктора (вид сбоку) на фиг. 9 - механизм перемещения с приводом вращения индуктора (вид спереди). Установка для...
Установка для очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин
Номер патента: U 6452
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Губич Леонид Иосифович, Алексеев Павел Владимирович
МПК: B08B 3/00
Метки: установка, полупроводниковых, поверхности, преимущественно, очистки, изделий, пластин
Текст:
...планшайба для размещения очищаемой пластины установлена с возможностью вращения в горизонтальной плоскости на валу электродвигателя сопло подачи жидкости и/или газа установлено с возможностью углового перемещения относительно поверхности очищаемой пластины, снабжено нагревательным элементом. На фигуре представлен вид сбоку установки для очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, в разрезе. Установка для очистки...