Антипов Михаил Николаевич
Алмазосодержащее корпусное устройство для резки полупроводниковых пластин
Номер патента: 12211
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Цыбульская Людмила Сергеевна, Ковальчук Геннадий Филиппович, Гайдук Илья Леонидович, Гаевская Татьяна Васильевна, Антипов Михаил Николаевич, Васильев Валерий Лукич
МПК: H01L 21/02, B28D 5/00
Метки: резки, корпусное, полупроводниковых, устройство, пластин, алмазосодержащее
Текст:
...С и катодной плотности тока 2,0-3,0 А/дм 2 (фигура). Изготовление алмазосодержащего устройства для резки полупроводниковых пластин из кремния и материалов группы А 3 В 5 по данному изобретению включает следующие операции изготовление корпуса из сплава алюминия Д 16 электрохимическое осаждение тонкого слоя меди для обеспечения хорошего качества сцепления последующих нанесенных алмазосодержащих слоев электрохимическое осаждение внешнего...