Малый Игорь Васильевич
Способ изготовления кремниевой интегральной микросхемы
Номер патента: 18136
Опубликовано: 30.04.2014
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Малый Игорь Васильевич, Ефименко Сергей Афанасьевич, Шикуло Владимир Евгеньевич, Солодуха Виталий Александрович
МПК: H01L 21/77, H01L 27/04
Метки: кремниевой, интегральной, изготовления, микросхемы, способ
Текст:
...при низкой температуре (450 С). Для достижения требуемого результата отжиг может повторяться несколько раз, что приводит к увеличению цикла изготовления интегральной микросхемы. 3 18136 1 2014.04.30 В основу изобретения положено решение задачи повышения коэффициента усиления горизонтального транзистора на малых токах, повышения стабильности электрических параметров и увеличения процента выхода годных микросхем. Сущность изобретения заключается...
Конденсатор для интегральных микросхем
Номер патента: 9129
Опубликовано: 30.04.2007
Авторы: Ануфриев Леонид Петрович, Турцевич Аркадий Степанович, Малый Игорь Васильевич, Глухманчук Владимир Владимирович, Карпов Иван Николаевич
МПК: H01L 29/94, H01L 29/92
Метки: микросхем, конденсатор, интегральных
Текст:
...защиты второго слоя конденсаторного диэлектрика на границе обкладки из легированного поликристаллического кремния, что обеспечивает дополнительную возможность использовать легированный слой поликристаллического кремния в качестве разводки. Кроме того, легированный слой поликристаллического кремния выполнен кристаллитным по толщине, где 2-4. У данного слоя легированного поликристаллического кремния и нижняя, и верхняя поверхности...