Белятко Дмитрий Петрович
Способ обратной литографии
Номер патента: 7220
Опубликовано: 30.09.2005
Авторы: Лыньков Леонид Михайлович, Белятко Дмитрий Петрович, Прудник Александр Михайлович, Болдышева Ирина Петровна
МПК: H01L 21/033
Метки: литографии, способ, обратной
Текст:
...алюминия, формирование контактной маски путем селективного травления пленки алюминия,нанесение пленки рабочего материала и удаление контактной маски 2. Недостатком данного способа является ограниченный диапазон применяемых рабочих материалов. Задачей настоящего изобретения является получение технического результата, который выражается в понижении температуры взрыва (удаления) контактной маски, что позволит расширить диапазон используемых...