Патенты с меткой «поликремниевый»
Высокоомный поликремниевый резистор
Номер патента: 11703
Опубликовано: 30.04.2009
Авторы: Сякерский Валентин Степанович, Емельянов Виктор Андреевич, Леонов Николай Иванович, Дударь Наталья Леонидовна, Лемешевская Алла Михайловна, Котов Владимир Семенович
МПК: H01C 7/00, H01L 29/00, H01C 1/00...
Метки: высокоомный, поликремниевый, резистор
Текст:
...снижается. Указанныепричины делают трудновыполнимой задачу получения резисторов с большим поверхностным сопротивлением с высокой точностью. В случае, когда ионное легирование тела поликремниевого резистора и его отжиг при сравнительно низкой температуре проводят после формирова 2 11703 1 2009.04.30 ния металлизации, возможно использование достаточно больших легкоконтролируемых доз легирующей примеси. За счет того, что ионное легирование тела...