Патенты с меткой «поликремниевого»

Номер патента: 11704

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Шведов Сергей Васильевич, Леонов Николай Иванович, Котов Владимир Семенович, Емельянов Виктор Андреевич, Дударь Наталья Леонидовна, Лемешевская Алла Михайловна

МПК: H01C 1/00, H01L 29/00, H01C 7/00...

Метки: способ, высокоомного, поликремниевого, резистора, изготовления

Текст:

...окончания технологического маршрута структура резистора может подвергаться воздействию высокотемпературных (850 С-1200 С) операций. В результате глубина легированной области в слое поликремния может приблизиться к толщине слоя поликремния и сравняться с ней. Кроме того, анализ вольт-амперных характеристик поликремниевых резисторов, изготовленных согласно прототипу и заявляемому способу, показывает, что различие в поверхностном сопротивлении...