Патенты с меткой «изоляция»

Номер патента: 17712

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Сергей Федорович, Новиков Виктор Александрович

МПК: H01L 21/02

Метки: диэлектрическая, приборов, полупроводниковых, изоляция, межуровневая

Текст:

...травление слоев ПХО, нитрида кремния и термического диоксида кремния, удаление фоторезиста. В отличие от прототипа отсутствуют самостоятельные операции гидрогенизации поверхности нитрида обработкой в водородсодержащей плазме, нанесения полиамидокислоты и ее сушка, термообработки слоя полиамидекислоты для ее превращения в полиимид они все заменены на всего одну операцию осаждения ПХО. Отсутствует также операция адгезионной...

Номер патента: U 8388

Опубликовано: 30.06.2012

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Емельянов Антон Викторович, Новиков Виктор Александрович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/02

Метки: изоляция, межуровневая, диэлектрическая, приборов, полупроводниковых

Текст:

...их выхода годных. Процесс изготовления заявляемой межуровневой диэлектрической изоляции состоит из следующих технологических операций формирование промежуточного диоксида кремния, формирование слоя нитрида кремния, осаждение ПХО с одновременной гидрогенизацией всей структуры, нанесение фоторезиста и его сушка, совмещение и экспонирование фоторезиста, проявление фоторезиста, зачистка дна контактных окон, последовательное травление слоев...

Номер патента: 14318

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Шведов Сергей Васильевич

МПК: H01L 21/02

Метки: изоляция, прибора, межуровневая, диэлектрическая, полупроводникового

Текст:

...обнажается поверхность пленки на основе диоксида кремния, к которой полиимид имеет очень слабую адгезию. Толщина пленки нитрида кремния более 0,15 мкм нецелесообразна в связи с тем, что затраты на ее формирование увеличиваются без получения дополнительных преимуществ. Кроме того, в структуре растут механические напряжения, которые приводят к возникновению характерных дефектов, в частности пор в диэлектрической изоляции, что приводит к снижению...

Номер патента: U 6196

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Шведов Сергей Васильевич, Сенько Сергей Федорович

МПК: H01L 21/02

Метки: изоляция, полупроводникового, прибора, диэлектрическая, межуровневая

Текст:

...дефектов. Кроме того, пленки нитрида кремния характеризуются высокими барьерными свойствами по отношению к катионным загрязнениям, что обеспечивает дополнительные преимущества заявляемой конструкции. Минимальная толщина нитрида кремния, равная 0,02 мкм, обусловлена тем, что при меньших значениях существующие методы получения таких пленок не обеспечивают их сплошность, формируемая пленка носит островковый характер. Кроме того, в процессе...

Номер патента: U 6186

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Паракевич Евгений Богданович, Журбило Вячеслав Лаврентьевич, Внуков Алексей Карлович, Паракевич Альфия Лутфулловна, Перевязчиков Владимир Анатольевич, Базыленко Александр Анатольевич, Терешко Виктор Станиславович, Розанова Фаина Алексеевна

МПК: F16L 59/06, B65D 90/02, E04H 7/00...

Метки: емкость, тепловая, изоляция, нефтепродуктов, теплоизолированная, нее, хранения

Текст:

...и требует очень больших расходов пара, а также дорогостоящей очистки полученного конденсата от нефтепродуктов (мазута). Задачей настоящей полезной модели является создание теплоизолированной емкости для хранения нефтепродуктов и тепловой изоляции для нее, не требующих опорожнения и пропарки емкости, обеспечивающих возможность монтажа без нарушения текущей эксплуатации емкости при температурах 70-80 С. Поставленная задача в теплоизолированной...