Способ разделения пьезокерамической заготовки

чип-ч скорости перемещения заготовки выбирают неГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ(54) СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКОЙ ЗАГОТОВКИ(71) Заявитель Минское производственное объединение Горизонт (В)(73) Патентообладатель Минское производственное объединение Горизонт (В)Способ разделения пьезокерамической загоТОБКИ На ПЛЗСТИНЫ ПУТМ ПОСТУПЕТЛЬНОГО Перемещения ее относительно внутренней режущей кромки вращающегося диска, центр которою смещен относительно осн вращения,отличающийся тем, что величину смещения центра диска относительно оси вращения устанавливают равной (3-11) 105 м, а отношение скорости перемещения режущей кромки кИзобретение относится к радиоэлектронике И МОЖЕТ 6 ЫТЬ ИСПОЛЬЗОВЗНО ПрИ разделении пьезокерамических заготовок на пластины, в ЧЗСГНОСТИ ПРИ ИЗГОТОВЛВНИИ фильтров на ПОверкностных акустических волнах (ПАВ), обьемных акустических волнах (ОАВ) и тд.Задачей изобретения является создание способа разделения пьезокерамической заготовки,обеспечивающего повышение процента выхода годных изделий.На чертеже показан процесс резки пьезокерамической заготовки.Способ разделения пьезокерамической заготовки на пластины осуществляют следующим образом.Пьезокерамическую заготовку 1 закрепляют на суппорте установки (на чертеже не показано). Для этого заготовку 1 торцом и боковой поверхностью мастикой приклеивают к держателю. Кроме того, на держателе пьезокерамическую заготовку 1 можно закрепить с Использованием вакуумной присоски. При закреплении заготовки 1 ее ориентируют таким образом, чтобы торец заготовки был паралле лен поверхности режущего диска 2. Разделение ПЬСЗОКСРНМИЧССКОЙ ЗНГОТОВКИ 1 на ПЛЗСТИНЫосуществляют путем ее перемещения относительно вращающегося диска. При резке заготовки 1 в зону обработки подают охлаждающую жидкость (ОЖ). В качестве ОЖ обычно используют воду или 25 раствор кальцинированной соды. Резку заготовки 1 осуществляют на всю ее ширину. Отрезаемая пластина крепится боковой поверхностью надержателе. После резки заготовки и пластины ОТКЛСИВЦЮТ ОТ ДСРЖЕТСЛЯ ПУТМ нагрева ДО температуры плавления мастики или ее растворения. Центр 3 режущей кромки 4 алмазного диска 2 смещают относительно оси его вращения 5 на величину (311) 105 м, т.е. а 30110 мкм.Для резки пьезокерамической заготовки 1 используют шшазные диски с внутренней режущей кромкой (АКВР). АКВР обычно крепятся по периметру Б. Подготовку АКВР к резке осуществляют следующим образом. АКВР с помощью механического прижима по периметру закрепляют на держателе, выполненном с возможностью вращения. Для ориентации АКВР используют штифты,закрепленные на держателе, которые совмещают с отверстиями на диске 2 (на чертеже не показаны). После закрепления АКВР на держателе осуществляют его натяжение до необходимой величины.При резке заготовки 1 на пластины режущая кромка 4 в зоне обработки разрушает пьезокерамический материал, что приводит к отделению пьезокерамической пластины от заготовки 1 и образованию шлама в зоне обмработки. При смещении цента З режущей кромки 4 относительно оси вращения алмазного диска 2 резание пьезокерамической загоТОВКИ 1 ОСУЩЕСТВЛЯЕТСЯ ТОЛЬКО ЧЗСТЬЮ режущей кромки 4, наиболее близко расположенной к оси вращения алмазного диска 2, а остальная часть диска 2 удаляет шлам из зоны обработки. При этом процесс резания пьезокерамнческой заготовки 1 осуществляется только в импульсном режиме в определенные моменты времени, когда в зоне обработки находится режущая кров/пса 4, наиболее близко расположенная к оси вращения алмазного диска 2, т.е. резку заготовки 1 вьшолняют в импульсном режиме. Кроме того, в результате ИМПУЛЬСНОГО ВОЗДЙСТВИЯ НЛМНЗНОГО ДИСКЕ 2 на пьезокерамическую заготовку 1 повышается эффективность гидродинамического воздействия ОЖ, которая подается в зону обработки для охлаждения режущей кромки 4 диска 2. В результате всего этого повышается эффективность удаления Шлама, продуктов резки из зоны обработки, что приводит к уменьшению эффекта заклштивания алмазного диска 2 в пьезокерамической заготовке 1 и, соответстВВННО, К УМЕНЬШЕНИЮ УСИЛИЯ резания ПЬЕЗО керамического материала.Пример. Пьезокерамическую заготовку 1 закрепляют в держателе. Для приклейки пьезокерамической заготовки используются мастики,которые наносятся на ее торец и боковую поверхность и имеют следующий состав клей БФ (БФ-2, БФ-4 или БФ-б) 30 абразивный микропорощок М-20 70Держатель ориентируют таким образом, чтобы торец пьезокерамической заготовки 1 был параллелен поверхности алмазного диска 2 и закрепляют на суппорте установки. После закрепления пьезокерамической заготовки 1 на режущую кромку 4 алмазного диска 2 подают ОЖ и осуществляют резку пьезокерамической заготовки 1 на пластины. В качестве ОЖ используют 25 раствор кальцинированной соды. Интенсивность подачи ОЖ находится в пределах от 1,9 л/мин до 7,5 л/мин.Центр З режущей кромки 4 алмазного диска 2 смещают относительно его оси вращения на следующие величины 15 мкм 30 мкм 70 мкм 110 мкм 150 мкм. Смещение центра 3 режущей кромки 4 относительно центра алмазною диска 2 осуществляют путем смещения его в процессе крепления на держатель на величину 15025 О мкм и уменьшения величины смещеНИЯ ДО НЕОбХОДИМОГО ЗННЧЕНИЯ ПУТЕМ ПРНБКИ режущей кромки алмазного диска 2.В таблице приведена зависимость процента ВЫХОДЗ ГОДНЫХ ИЗЦЛИЙ И ШСРОХОВНТОСТН ОТРСЗЗСМЫХ ПЬЗЗОКРЗМИЧВСКИХ ПЛВСТИН ОТ ЕСЛИчины смещения Центра 3 режущей кромки 4 диска 2 относительно его оси вращения.Величина смещения центра режущей кромКИ ДИСКЕ. ОТНОСИТЕЛЬНО еГО ОСН вращения,мкмПоцент выхода годных изд. Шероховатость поверхности пьеэокерамических пластин, мкмПосле резки пъезокерамнческой заготовки 1 на пластины ОСУЩВСТВЛЯЮТ удаление ОТРСЗЭН ных пьезокерамических пластин с держателя путем нагрева их вместе с держателем до температуры 8090 С в течение 1520 мин. В процессе нагрева мастика размягчается и пье ЗОКСРЗМИЧВСКИБ ПЛВСТИНЫ СНИМЗЮТ С держаТЕЛЯ.В ОПИСЗННОМ способе ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬСЗОКВРЗМИЧВСКИХ ПЛаСТИН ПОБЫШЕН процент БЫ ХОДЕ РОДНЫХ ИЗДЕЛИЙ за СЧТ УМЕНЬШЕНИЯ ДЕфВКТНОСТИ ПЬСЗОКВРНМИЧЕСКИХ ПЛЭСТИН, Т.К. УМСНЬШНЮТСЯ МХННИЧВСКИС ННПрЯЖВНИЯ ПЬЕЗОКВБЕМИЧССКОГО материала В приповерхност ном слое пластин, плотность микротрещин в нем и шероховатость поверхности пьезокерамических пластин.Государственное патентное ведомство Республики Беларусь.