Александренко В. Т.

Номер патента: 760

Опубликовано: 15.08.1995

Авторы: Александренко В. Т., Лайков Г. Д.

МПК: H01L 21/304

Метки: способ, пьезокерамической, разделения, заготовки

Текст:

...пластины от заготовки 1 и образованию шлама в зоне обмработки. При смещении цента З режущей кромки 4 относительно оси вращения алмазного диска 2 резание пьезокерамической загоТОВКИ 1 ОСУЩЕСТВЛЯЕТСЯ ТОЛЬКО ЧЗСТЬЮ режущей кромки 4, наиболее близко расположенной к оси вращения алмазного диска 2, а остальная часть диска 2 удаляет шлам из зоны обработки. При этом процесс резания пьезокерамнческой заготовки 1 осуществляется только в...